半導体用語集
排ガス処理装置
英語表記：exhaust gas treatment equipment
半導体製造工程では、毒性・腐食性・自然発火性などの危険性を持ったガスが数種類複合した形で使用されプロセスに導入される。これらのガスの大部分は未反応ガスや副生ガスとして排出される。副生ガスについては、プロセス導入時は無害なガスでも、使用条件により毒性ガスを生じる可能性もある。これらの有毒ガスは、そのまま大気中へ排出すると環境汚染や人体に影響を及ぼすため、適切な排ガス処理が必要となる。有毒ガスを除害する方法としては、固体処理剤を用いる乾式、塩基や酸化剤水溶液を用いる湿式および燃焼による方式に大別される。
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