半導体用語集
燃焼式排ガス処理装置
英語表記：exhaust gas abatement equipment by incineration process
排ガスをLPGなどの助剤により強制的に燃焼させ、有害成分を燃焼分解する装置。主として水および薬液洗浄不適なガス（シラン、ジクロールシランなど）の除去に用いられる。
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