半導体用語集
湿式排ガス処理装置
英語表記：wet type exhaust gas abatement equipment
半導体製造装置などから排出される有害ガスを、薬液や水を用いて無害化する装置。液体を用いることから湿式と呼ばれる。充填塔やスプレー塔などのスクラバや気泡塔などのスクラバや気泡塔などが該当する。
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