半導体用語集
自動公転機能
英語表記：spin and rotation
回転定盤型のCMP装置やラップ盤、精密平面研削盤などでは、一般に被工作物は回転可能な研磨工具（研磨布）の回転中心から偏心した位置で接触摺動し、かつ、被工作物は自ら回転する装置機構をもつ。このとき、工作物は自転公転機構を持つという。また、被工作物を複数個同時加工する場合、工作物の保持治具（キャリア）は、各々回転可能な複数個の保持治具（キャリア）を有するカルーセルと呼ばれる一体型保持器で構成される。
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