半導体用語集
バッチ式
英語表記：batch processing
一度に複数枚のウェーハを処理する方式。
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半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › エッチング装置 › アッシング装置
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PHT株式会社
ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 洗浄装置・ウェット処理装置 › バッチ式洗浄装置
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