バッチ式の製品一覧
ウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)
PHT株式会社
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。
シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置
ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。
Sonosys社 超音波洗浄装置 (バス・タンク式洗浄用)
ティックコーポレーション株式会社
半導体や基板の洗浄の問題を解決します
Harrier-M
Eugene Technology
ミニバッチ式ALD装置
【特許技術】配管自動切換装置(マルチタイプ)
ナブテスコサービス株式会社
【特許技術】配管そのものを動かして、配管/ホースの切換作業を自動化します。
Harrier-L
バッチ式高生産性LPCVD/プラズマALDプロセス対応装置
WS-620C/ WS-820L
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム
FC-3100
最適な洗浄プロセスに応える進化形
FC-821L
ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置
CW2000
フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置
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