半導体用語集
スプレー塗布
英語表記：spray coating
噴出口から送り出されたミスト状のレジストをウェーハ上に噴霧する手法。スピン塗布法と比較して、レジスト消費量を大幅に削減できる利点があるがレジストミストによる塗布むら解消が困難なため、ミクロンオーダ以下のデザインルールには適していない。
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