半導体用語集
XYステージ
英語表記：XY stage
試料を載せて、電子ビームの照射方向と垂直なXY平面を移動するステージをXYステージと呼ぶ。連続移動方式の描画装置で使われる XYステージは、リニアローラガイドで支持されたステージを二段重ねにした構成をなす。ステージの駆動方式には、駆動棒をキャプスタンローラで駆動する摩擦駆動方式が用いられ、長いストロークを100mm/s以上の高速で ステージ駆動できる。XYステージのみの位置決め精度で描画精度を達成することはきわめて難しいため、電子ビーム描画装置ではステージ位置をレー サ干渉計で測定し、所定位置との差を電子ビームの偏向位置を変えることで 補正するレーザ干渉計を使ったクロー ズドフィードバックシステムを採用している。しかしながら、レーザ干渉計で測定できないステージの姿勢の悪さは描画精度の悪化に繋がるため、ステージ姿勢精度にはきわめて高い性能が要求される。また、駆動系を含むステージシステムは、熱、振動、磁場の発生源でもある。このため、ステージはリニアローラガイドを含めて非磁性材料で製作する、発熱源となるモータからガイドローラ間の摩擦による発熱に至るまで試料基板を伸縮させるような温度変動は定温水を流すことで抑える、モータ部からの大きな振動は、ステージの停止位置決め精度を悪化させない程度の柔構造ジョイントによって減袞させるなど、様々な工夫を凝らして設計・製作される。
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