半導体用語集
インデックス
英語表記：index
プローバのXYステージの駆動方法の一つ。設定された量（これをインデックスサイズという）だけ，XYステージを移動させる。ウェハ測定時のチップ間の移動はインデックス駆動のため，インデックスサイズは，チップサイズと同じ意味で使われることも多い。1インデックス移動したといった場合，1チップ分の移動と同じことをいうケースが多い。
また，インデックスタイムは，1インデックスするのにかかる時間のことをいう。具体的には，z Upの状態→ z Down→ 平行移動→ z Upのサイクル時間をインデックスタイムという。z up/downの時間は，チップサイズによって左右されないが，XY移動の時間はチップサイズによって大きく違う。
そのため，「チップサイズ( )mmの時のインデックスタイムは，( )msec」というように表現する。
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