半導体用語集

マルチ測定

英語表記:multi-die probing

 プローバにおいて,1チップづつインデックスして測定するのではなく,1回の測定で2チップ,4チップ,8チップ,あるいはそれ以上と同時に測定することをいう。2マルチ時は,CH1.とCH2.の位置により,ロケーションが決められる。4マルチ,8マルチはともにxとyの2種類のロケーションとなる。さらに斜め方向にマルチをとっていくケースもありうる。
 現在,メモリ測定においては,マルチ測定が普通である。マルチの数が増加するに従い,スループットが上がるが、決してマルチ測定数と同じだけ,効率が上がるわけではない。その品種の歩留りとも密接な関係がある。
 マルチプローブは,テスタの遊び時間を減らし,かつスループットを上げることが目的である。近年,メモリは16マルチ,32マルチおよびそれ以上の検討も進んでおり,またロジックにおいても,2マルチあるいは4マルチ化といった検討がなされている。
 テスト効率のupと,テスタ,プロービングカードを含めたマルチ対応に伴うコストupとの綱引きはあるが,今後も多マルチ化の傾向は続くと思われる。


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