半導体用語集
インカ（マーカ）
英語表記：inker (marker)
プローバのインサートリング部（プロービングカードを保持するθ調整可能なドーナツ形状の機構）に，1～4個設置し，テスタからのフェイル信号（測定の結果，このチップは不良だという信号）により不良チップに印をつけるためのもの。印はインクをつけるインカが一般的だが，他にダイヤモンド針で不良チップに傷をつけるスクラッチマーカ，レーザで傷をつけるレーザマーカがある。
インカ駆動方式は，力は弱いがインカの芯が振動するのを防ぐため，駆動時間内にインカ回路に流す電流を変化させる電流制御方式と，力が強い電圧制御方式がある。
インカの設置場所は，通常インサートリング内であるが，チップサイズの大きいデバイスでスループットに余り影響がないとか，マルチ測定のためインカを多数設置しなければならずイン力調整が大変であるとか，テストヘッドからプローブ針までのメジャリングケーブルを短くしたいため，インサートリング内にインカをつけたくない，という理由で，インサートリング外に設置する別エリアマーキングがある。
また，多くのプローバで測定したウェハを集中的にインキングするマーキングプローバもある。
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