半導体用語集

コンディショニング ドレッシング

英語表記:conditioning dressing

ポリッシュ性能の安定化のため、パッド表面性状を常に同じ状態に保持する目的でパッド表面の目立てを行うこと。パッドの性質によりダイヤモンド砥石やナイロンブラシ等でパッド表面を擦る。ポリッシングと同時に行う(in-situドレッシング)方法と、ポリッシュとポリッシュの間に行う(ex-situドレッシング)方法がある。


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