半導体用語集
スプレーデベロッパ
英語表記：spray developer
レジストを露光後現像する際、現像液をポンプなどで加圧し、パイプ先端のノズルより噴霧状の液をウェーハ表面へ吐出させ現像する装置。常に新しい液がレジストの表面に供給されるため、現像時間が短縮される。
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