半導体用語集
研磨時間
英語表記：polishing time
被加工物に対する所定の取り代を、研磨により除去するのに要する時間をいう。研磨による加工の生産性を示すパラメーターで同じ取り代に対する研磨時間が短いほど生産性は良い。研磨能率の高いスラリーや研磨布を使用したり、研磨機の研磨圧力や回転速度を高めることで加工時間をある程度短縮することが可能である。
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