半導体用語集
研磨布寿命
英語表記：polishing pad life
CMPで用いられる研磨布が研磨中に摩耗し、これ以上使用できない状態になるまでの研磨時間（あるいは使用回数）のこと。酸化膜CMPでは独立気泡タイプのポリウレタン製研磨布が用いられることが多いが、研磨布の寿命はウェーハ数100枚程度である。このとき研磨布の寿命判定は、研磨布の摩耗に起因する研磨布の溝の消失、研磨レートの低下、バッチごとの変動大、研磨レートの面内不均一の発生で行われる。研磨布の寿命に与える影響として、ドレッシングによる研磨布の摩耗が非常に大きいことを注意する必要がある。
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