半導体用語集
LER(ライン エッジ ラフネス)
英語表記：LER (Line Edge Roughness)
トランジスタのパターンが微細化されると、パターンのエッジのギザギザが問題となる。このギザギザのことを、LER（Line Edge Roughness）と呼んでいる。Gate length 20nmのMOSを作る時、LERが5nmあると、両側から10nmもバラツクことになり、MOSの特性が一定せず、設計できない。LERの原因は色々あるが、中でもフォトレジストの高分子の大きさが問題と言われており、これを避けるレジストの開発が行われている。
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