半導体用語集
ウェーハ・ローディング・アンローディング
英語表記：wafer loading/ unloading
半導体ウェーハを製造装置や検査装置などに出し入れすること。半導体ウェーハを素手で取り扱うことはコンタミネーションのもととなるため禁じられている。半導体デバイスを作るに当たっては、各種の製造装置、検査装置にウェーハを供給（ローディング）し、作業が終わったらウェーハを取り出（アンローディング）さなくてはならない。これらの処理は一般的には自動化されており、ウェーハトランスファロボットがこの処理を行なう。
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