半導体用語集
シロキサン
英語表記：siloxane
有機珪素化合物のうちでSi-O-Si結合を含むものの総称。半導体業界においては、シーリング材であるシリコーンシーラントなどから揮発脱離してくる低分子環状シロキサンのことを指すことが多い。クリーンルームおよびウェーハケース内の大気中において、シロキサンは成分分析しても極微量しか検出されないほど存在比は低いが、清浄化されたウェーハを長期保管しておくとウェーハ上に吸着する。このように吸着選択比の高い有機分子の汚染が、酸化膜耐圧特性などのデバイス特性へ及ぼす影響が問題となってきており、環境のコンタミネーションコントロールが重要視されている。
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