半導体用語集
エキシマレーザ
英語表記：excrmer laser
エキシマ (excimer)とは、エキサイテッドダイマー(excited dimer ; 活性錯合体)の略で、励起状態の原子と基底状態の原子が結合してできる分子のことである。ハロゲンと希ガスとの 組み合わせで、様々な波長の発振線を出す。エキシマを形成する2原子がともに基底状態にある時は、反発しあって解離状態にある。エキシマの状態から解離状態に戻る間に光を放出し、この遷移をレーザ発振に用いる。リソグラフィ用のエキシマレーザとして、波長248nmのクリプトンフロライド (KrF)エキシマレーザ、波長193nmのアルゴンフロライド(ArF)エキシマレーザがある。最近0.10μm以下に対応するリソグラフィ用の光源として注目されているフッ素(F2)レーザは、157 nmに発振線を有し、放電励起で動作する最短波長のレーザである。厳密には、エキシマレーザではなく、ハロゲン分子レーザに分類される。発振スペクトルもエキシマレーザが数100pmと広かったのにくらべると、数pmと細いという特徴を持っている。
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