半導体用語集
キャリーオーバ
英語表記：carry over
薬液浸漬洗浄において、ウェーハやカセットに付着した薬液が次の薬液槽まで持ち越されること。転じてPFA製のカセットに染み込んだ薬品が、他の槽で滲出したり、保管容器中で蒸発する現象にも使われる。薬液や保管ウェーハの汚染の原因となる。
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