半導体用語集
ステップアンドリピート
英語表記：step and repeat
移動と静止を繰り返してステージを動かすことをステップアンドリピートという。この方式を採用した電子ビーム描画装置におけるビームの制御方式は、パターンの存在するところにビームを偏向してバターンを塗りつぶすように描画するべクタ走査である。べクタ走査/ステップアンドリピート方式では、べクタ走査ごとに必すステージ加減速を行うためステージ整定のための無駄時間が多く発生し、スループットか低い。反面、パターン描画時にステージが完全に停止しているため、振動などによる描画精度の低下がないなどのメリットがある。描画精度に厳しい要求がなされるマスク描画では、スポット ビーム/べクタスキャン/ステップアンドリピート方式の装置が現在でも使われている。
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