半導体用語集
ステージ移動
英語表記：stage moving
電子ビーム描画装置におけるビーム偏向量は数mm程度と限られるため、試料を移動させてその全面を露光する。このステージを使った試科の移動をステージ移動と呼ぶ。ステージ移動の方式としては、バターンの存在するところにステージを移動し、描画を行っている間はステージを停止しているステップアンドリピート方式と、パターンの有無に関わらず全域を連続で移動させながら描画を行っステージ連続移動方式とがある。ステップアンドリピート方式では、ステージ移動に際して加減速を繰り返すため、静止状態までに多くの無駄時間が発生する。しかしながら、パターン描画時には、ステージが停止しているため、ステージ性能に対する要求は特に厳しくない。これに対してステージ連続移動方式では、ウェハを連続的に移動させながらパターンを描画するため、ステージ性能はステップアンドリピート方式のステージにくらべてはるかに厳しい値が要求される。さらに走行時のステージ姿勢誤差を完全に取 り除くことができないため、ステージ移動中もその位置を常にレーザ千渉計で計測し、ステージの姿勢誤差に伴うステージXYゆらぎを、高い応答周波数特性を持つビーム偏向系によって補正するトラッキング技術を採用して、描画精度の低下を抑える必要がある。
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