半導体用語集
描画ソフト
英語表記：control software of e-beam writer
描画装置を制御管理して描画を実行するソフトウェアを描画ソフトと呼ぶ。電子ビーム描画装置は、ほとんどすべての動作はソフトウェアによって駆動される。このため、描画ソフトウェアの守備範囲はきわめて多岐にわたる。主なソフトウェアには、電子ビーム偏向系やレンズ系の校正を自動的に 行う電子光学系自動校正、ウェハ搬送や試料ステージ移動などの機械系シーケンス制御、描画データや各種補正データを描画回路に設定する電気回路系制御、描画シーケンスに従って重ね合わせ用位置合わせマークの検出や描画を行う描画制御、温度や真空などの装置状態をモニタする装置管理、そして描画オペレーション・ユーザー・インタフェースなどがある。特に、電子光学系の校正を自動で行うソフトウェアは、人間が行うと、校正精度が毎回異なったり、個人差が生じたり、時間が長くかかってしまう校正を高精度に再現性よく、短時間で行うことができる。装置全体の自動化を図る上でも要となるソフトウェアである。また、調整結果の履歴や、温度・真空などの装置状態をモニタする装置管理ソフトウェアなども、装置の安定稼動と稼勧率を高めるうえで重要である。
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