半導体用語集
溶融アルミナ
英語表記：fused alumina
ボーキサイトなどのアルミナ質鉱石やバイヤー法で得られるアルミナ等を電融炉で電融することで得られる酸化アルミニウム。溶融アルミナ研磨材は、この電気溶融により得られたアルミナインゴットを粉砕し、さらに所定の粒度に分級することで得られる。結晶形態はα晶。硬度が高く安定で、さらに安価であることから、研磨剤として幅広く使用されてきた。溶融アルミナの純度は原料の純度に依存し、比較的高純度なバイヤー法によるアルミナから得られるWA砥粒は白色であり、一方、アルミナ質鉱石から得られるA砥粒は褐色を呈している。また、不純物含有量に応じて脆性度が変化する。粉砕により粒子の形が形成されるため、鋭いエッジを有しており、面精度を改善するポリシングには通常使用されない。反面加工能率が高いため、形状精度を整えるラッピングには適しており、半導体シリコンウェーハ、ガラス、水晶振動子等のラッピングに広く使用されている。
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