半導体用語集
輪帯照明
英語表記：annular illumination
輪帯照明は、斜入射照明の一つの方法である(基本的原理は、「斜入射照明」の項参照)。輪帯照明は照明系絞りにリング状の開口部を設けてあり、開口部の外側のσ (アウタシグマ:σoutなどで表示) および開口部の内側のσ(インナシグマあるいはシールドエリア:σmなどで表示)などで表現されている。開口部の幅および大きさは、適用するパターンにより最適値が存在する。輪帯照明の開口部は照明系絞りの同心円上に位置しているため、変形照明で生じるパターンの方向性による特異差は生じない。ただし、変形照明とくらべ、パターン形成に寄与しない不要な光も存在するため、解像力および焦点深度の特性向上が劣る場合がある。このため、超解像技術の中でも弱い超解像技術に分類されている。しかし、この技術も斜入射照明のーっの方法であるため、パターン周期による依存性があり,パターン周期が低い。たとえば大パターンや孤立パターンなどに対しては十分な向上がえられないなどがある。したがって、この輪帯照明も解像度、焦点深度などの向上がえられる代わりに、多岐にわたるパターンに対してすべて効果があるわけではない。また、パターンによりアンバランスが生じるため、目的に合わせて適用する必要がある。
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