半導体用語集
変形照明
英語表記：modified illumination
変形照明は、斜入射照明の一つの方法である。基本的原理は、斜入射照明で説明してあるのでここでは省略する。変形照明の主な種類としては2点照明、4点照明があり、照明系の絞り部が2箇所あるいは4箇所が開口している。開口形状および位置は、円形や適用するパターンに対する最適な形状があり、適用するパターン寸法、形状、光学条件などにより異なるため多種多様である。絞り部の開口位置とパターンの種類の関係は、パターンの繰り返しピッチ(周波数:周期)により絞りの直径方向の位置が決まり、また、パターンの繰り返し方向により開ロ部の同心円上の位置が決まる。したがって、パターンの方向性が合わない場合は、回折角の範囲が狭くなり、解像性に影響するということになる。この変形照明は、特定方向に対する焦点 深度、解像度を向上させる手法の一つである。全方向の繰り返しパターンに対して一様な効果をえる方式には、輪帯照明がある。また、パターン周期による依存性もあり、パターン周期が低い、たとえば大パターンや孤立パターンなどに対しては十分な向上がえられないことなどがある。このように変形照明は、解像度、焦点深度などの向上がえられる代わりに、多岐にわたるパターンに対してすべて効果があるわけではなく、パターンによりアンバランスが生しるため、目的に合わせて適用する必要がある。
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