半導体用語集
差圧ダンパ
英語表記：pressure setting damper
気圧の異なる空間の隔壁に設置し、両空間の差圧を安定維持するための差圧調節ダンパ。一般に微小風圧で浮き上がるスイング式の板にスライドできるおもりを差圧設定用として取り付けたバランス形が用いられる。
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