半導体用語集
チェーン注入
英語表記：chained implants
二工程以上の異なるプロセスの注入を、ウェーハを処理室にロードしたまま、連続して行う処理方式。工程間で注入角のみを変更する場合とエネルギー及びドーズ量も同時に変更する場合がある。
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