半導体用語集
スクラバ
英語表記：scrubber
ガス中のダスト、ミスト、有害ガス、悪臭などを水または薬液にて除去する装置。ガスと液との接触面積を大きくするための充填物を内蔵する充填式、多孔板上に水膜を形成しそこにガスを通過させる多孔板式の他、スプレー式、ベンチュリ式がある。
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