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半導体用語集

排気処理施設

英語表記：exhaust treatment system

　排気処理施設は生産設備排気を吸引し、生産設備内雰囲気の漏洩によるクリーンルーム内汚染を防止するとともに、排気中に含まれる有害な物質を除去するものである。したがって本施設は生産設備が必要とする風量・吸引圧力と、環境汚染防止施設としての機能を同時に満たす必要がある。また本施設と空調施設との風量バランスが崩れると、クリーンルーム環境の維持が困難になるため、常に相互の連動を留意した運転管理を行う必要がある。
　生産設備から排出される排気は、生産工程に応じて種々の物質を含有する。そのすべてを一括して処理することは不可能なため、排気は含有成分に応じて系統分けされ、それぞれに適切な処理が行われる。以下は代表的な排気区分と排気処理装置の組み合わせである。
　(1)酸系・アルカリ系排気
　主として洗浄設備から排出されるフッ酸・硫酸・塩酸・アンモニアなどを含む排気である。処理は気液接触により処理対象物質を溶解除去する方法が取られる。気液接触の方法にはシャワリング（充填塔）・バブリング（多孔板塔）などがある。これらの排気は一括して無機系排気として処理されることもあるが、pHのコントロールミスにより逆に汚染源になる場合もあるため、分別処理が主流となっている。処理対象物質を溶解した排水は排水処理施設で別途適切な処理を行う。
　(2)粉系排気
　CVD装置排気のようにシリカ粉末を含む排気である。処理はベンチュリスクラバ・ジェットスクラバなど、粉体を洗浄液に補足する洗浄集塵が主体である。排気量や含有する粉体の濃度により濾布（バグフィルタ）を利用した濾過集塵などが用いられる場合もある。粉系排気はダクトおよび排気処理施設内に粉塵が蓄積し、排気吸引圧力・流量の低下を招く場合があるので随時清掃を行う必要性がある。、
　(3)有機系排気
　塗布装置・剥離装置などから排出する有機溶剤を含有する排気である。活性炭やゼオライトのような吸着剤を利用した吸着方式や、直接・触媒燃焼方式などがある。吸着方式では飽和した吸着材の再生時に脱着液が発生し、この処理が必要になる。燃焼方式では有機ハロゲン化合物・NOxなどによる二次汚染物質の生成に注意が必要である。ユニークな方法として、対象有機物を分解する微生物を馴養して利用する微生物分解方式があるが、負荷変動や毒性物質の流入によりダメージを受けやすく、またいったん処理性が低下すると回復しにくいなど、量産工場への導入には克服すべき点が多い。
　(4)無処理排気
　熱排気など要処理物質を含まない排気である。ファンにより大気放出される。
　なお、排気の処理性や排気処理施設に使用している部材の耐薬品性は、使用薬品の種類により大きく異なるので、使用薬品の変更時には注意が必要である。

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