半導体用語集
ウェーハステージ
英語表記：wafer stage
ウェーハを露光位置に移動し位置決めする機構で、XY平面内の移動と位置決めを行うXYステージとZ方向の位置決め（フォーカシング）、Z軸周りの回転位置決め（ウェーハθ）及びX軸とY軸周りの回転位置決め（ティルティング）を行う微動ステージの両ステージを含めた機構。
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