半導体用語集

ウェーハステージ

英語表記:wafer stage

ウェーハを露光位置に移動し位置決めする機構で、XY平面内の移動と位置決めを行うXYステージとZ方向の位置決め(フォーカシング)、Z軸周りの回転位置決め(ウェーハθ)及びX軸とY軸周りの回転位置決め(ティルティング)を行う微動ステージの両ステージを含めた機構。



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