半導体用語集
ウェーハステージ
英語表記:wafer stage
ウェーハを露光位置に移動し位置決めする機構で、XY平面内の移動と位置決めを行うXYステージとZ方向の位置決め(フォーカシング)、Z軸周りの回転位置決め(ウェーハθ)及びX軸とY軸周りの回転位置決め(ティルティング)を行う微動ステージの両ステージを含めた機構。
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NSR-SF155
ニコン株式会社
「スカイフック構造」とウェーハステージ高速化により、さらなる高スループット化を実現したi線スキャンフィールドステッパー
半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品 › リソグラフィ装置 › i線露光装置
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