半導体用語集
キャドナビゲーション
英語表記：CAD navigation
CADのマスクレイアウトデータとSEM画像をあらかじめ対応させておき、測定したいネット名などを入力すると、その場所が解析装置の画面に表示されるように、解析場所を求めるために補助をする方法。
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