半導体用語集
ふっ素回収装置
英語表記：fluoride reclamation equipment
ふっ酸、ふっ化アンモニウムなどのふっ素を含む廃水を処理するうえで、ふっ素の回収再利用も目的とした装置。炭酸カルシウムを充填した反応塔に通水し、ふっ素を炭酸と置換させることにより、ふっ化カルシウムとして回収するカルサイト法などがある。
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