半導体用語集
双晶
英語表記：twin
結晶が成長時や塑性変形により双晶面(twining plane)または双晶境界 (twin boundary)を共有して対称な関係にある時、双晶の関係にあるとい う。普通は原子配置が鏡像の関係にある結晶を双晶と呼ぶ。シリコン結晶の成長中に温度勾配が急で熱応力が大きい場合、しばしば {111｝面を双晶面とする双晶が発生する。太陽電池(光電伝セル)に用いるリボンシリコン結晶(ribbon-growth silicon)では、成長方向く211〉に平 行で、{110｝ リボン結晶面に垂直な双晶がきわめて一般的に観察される。 CZシリコン結晶でも成長条件が不適 当だと双晶が発生しうるが、現在の十分に制御された成長技術では双晶は発 生しないので、大きな問題とならない。
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