半導体用語集
ラザフォード後方散 乱分光法 RBS
英語表記：Rutherford back scattering method
MeV領域の高エネルギーイオンを試料表面に照射し、後方散乱されたイオンのエネルギースペクトルを測定することにより、表面からの深さの関数として、種々の元素の濃度を決定する方法。
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