半導体用語集
排ガス回収装置
英語表記：exhaust gas recovery system
半導体製造装置などから排出されるガスを回収し、再利用する装置。主に分離部、圧縮部、精製部で構成される。エキシマレーザなどに使用される希ガス混合ガスを回収し精製再利用する装置や、
CF4、C4F8、などのエッチング用ガスを回収後、精留分離して利用する装置などがある。
関連製品
「排ガス回収装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「排ガス回収装置」に関連する用語が存在しません。
「排ガス回収装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
