半導体用語集
輻射シールド
英語表記：radiation shield
チョクラルスキー法により結晶成長を行う際、成長結晶を取り囲むように融液、るつぼおよびヒータからの輻射熱を遮蔽する治具。融液内対流の軽減、雰囲気ガスの整流化、引上げ結晶の温度勾配制御などに効果がある。
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