半導体用語集
高アスペクト比形状
英語表記：high aspect ratio profile
パターンの幅と高さの比をアスペクト比という。パターンが徴細化すればするほどアスペクト比が高くなる。特に、層間絶縁膜であるシリコン酸化膜のニッチングが最もアスペクト比が高く、アスペクト比10以上の開口が必要となる。一般的に、アスペクト比が高くなると電子のチャージアップによる電界やパターン内での散乱により、 イオンの入射が減少するので、アスペクト比が低いものにくらべてエッチング速度が遅くなったり、途中でエッチングがストップするという現象が生じて問題になっている。これを抑制するために、より低圧で放電したプラズマでかつ電子のエネルギーを低くする方法が検討されている。
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