半導体用語集

グラインディングホイール

英語表記:grinding wheel

研削用の砥石のこと。砥粒としては、主にダイヤモンドが用いられる。また、粗研削用ではヴィトリファイドボンド(セラミック系の砥石結合材)砥石を仕上げ研削用にレジノイドボンド(熱硬化性樹脂製の結合材)砥石を、セルフグラインド用にメタルボンド(金属粉末による砥石結合材)砥石などが用いられる。


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