半導体用語集
超純水配管材
英語表記：piping materials for ultrapure water
超純水の水質を低下させずにユースポイントへ超純水を供給する配管材。内面が平滑で、無機物、有機物の溶出を抑えたものが用いられる。使用材質としては、硬質塩化ビニール（PVC）、ポリプロピレン（PP）、ふっ素樹脂（PVDF、PTFE、PFAなど）、ポリエーテルエーテルケトン（PEEK）、ポリフェニレンサルファイド（PPS）などの樹脂材料が多い。特殊表面処理をした金属管の使用も考えられる。
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