半導体用語集
コリメータ
英語表記：collimator
走査後の扇形イオンビームの入射位置（角）に応じて特定の偏光角を与えることでパラレルビームを形成するための装置。磁界（電磁石）もしくは電界（電極、レンズ）を用いてイオンビームを変更させる。パラレルレンズ（pararell ltoens）と呼ぶ場合もある。
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