半導体用語集
ステップカット
英語表記：step cutting
2軸のスピンドルに異なるブレードを装着し、1軸目のブレードにてウェーハ表面の金属膜等のカットし難い物質を取り除く。その直後2軸目のブレードにて残りをカットし高品質の加工を得る切削方法。
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