半導体用語集
ファーネス移動ストローク
英語表記:furnace lift travel
帯域溶融法、縦型ブリッジマン法、水平ブリッジマン法において、加熱炉を移動して精製する方法における加熱炉の移動可能距離。単位は(cm)または(mm)で表示する。
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