半導体用語集
パーティションパネル
英語表記：partition panel
低発塵性、平滑性、耐食性、気密性、低帯電性などの特性を持つクリーンルーム用間仕切材および壁材。クリーンルームは閉空間であるので、近年、開放感のある材料が好まれている。
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