半導体用語集
アイリッド
英語表記：eyelid
クリーンルーム内気流パターンの調整、紫外線遮断などを目的として、天井から吊り下げるパネル。パーティションパネルと異なり、自由に往き来できるため、作業性の点で優れている。ただし微粒子遮断の面ではパーティションパネルやカーテンに劣る。大部屋方式などにおいて、清浄度領域区分に用いられる。
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