半導体用語集
クーリングプレート
英語表記：chill plate
室温程度に音調された平坦な金属プレート。かつては加熱処理後のウェーハを冷却するために使われていたが、最近ではレジスト膜厚均一性、現像均一性を向上させるために、塗布や現像処理にかける前にウェーハ温度を一定に調整する機能をもったものになっている。
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