半導体用語集
シリル化処理装置
英語表記：silylation system
装置イメージングプロセスの一種であるシリル化プロセスを行う装置。レジストの露光部表層に選択的にシリコン含有領域を形成させる。シリル化処理を気相で行うものと、液相で行うものがあり、それぞれ、気相シリル化、液相シリル化プロセスと呼ぶ。
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