半導体用語集
オリフラ合わせ機構
英語表記：orientation flat aligner
ウェーハをプラテンに搭載する際に、ウェーハのオリエンテーションフラットまたはノッチを所定の位置に合わせる機構。これによりイオン注入時のツイスト角が決定され、ウェーハティルトと共にイオンのウェーハに対する入射角度を決める。
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