半導体用語集
気体浮上搬送装置
英語表記：floating transportation system
搬送路に接触することなくウェハを搬送する装置。搬送路に多数の小孔を開け、空気や窒素ガスなどを下から吹きつけ、ウェハを浮上させながら搬送する装置。
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