半導体用語集
HEPAフィルタ
英語表記：high efficiency particulate air filterHEPA filter
定格風量で粒径が0.3μmの粒子に対して99.97％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が一般に300Pa（30㎜H2O）以下の性能をもつエアフィルタ。
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